Pompe Maglev, CXF-250/2301E, ISO-K/CF, refroidissement par eau à bord

Brève description:

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l'arbre est soutenu par la force magnétique, répondant aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, du placage industriel et des instruments scientifiques.


Les détails du produit

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Les technologies:

  • Technologie de contrôle pour le roulement magnétique : un 5 axes à lévitation magnétique, basé sur une théorie de contrôle internationale avancée, pour garantir des avantages aussi importants de l'arbre à grande vitesse qu'un fonctionnement stable et fiable en lévitation.
  • Technologie de contrôle d'entraînement de moteur : Moteur à courant continu à haute efficacité et système de servocommande, ayant une énergie maximale du moteur et pour compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, réalisant ainsi un démarrage stable, un fonctionnement fiable et une fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique.
  • Technologie de rotor composite en fibre de carbone : Fabriqué en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. caractérisé par une grande réduction de poids et une grande amélioration de la résistance, de sorte que les objectifs de vitesse de rotation élevée, de haute performance et de haute fiabilité sont atteints.
  • Technologie résistante à la corrosion : Les surfaces des pièces dans les chambres sont traitées avec un procédé spécial, de sorte que les surfaces puissent résister longtemps à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que N2 sont entièrement remplis dans l'arbre des pompes pour protéger les parties à faible vide dans les pompes, de sorte que la fonction d'évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes est réalisée.
  • Système de contrôle de la température de chauffage : équipé d'un réchauffeur électrique et d'un régulateur de température, l'eau de refroidissement, le chauffage à air osseux, le chauffage électrique et la chaleur transportée par des gaz protecteurs peuvent être surveillés et contrôlés pendant le fonctionnement, la température dans les pompes peut être maintenue à une certaine valeur à long terme, certains gazeux les substances ne sont pas converties en substances solides à température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences pour un processus spécial tel que la gravure peuvent être satisfaites.

Les avantages:

Ces pompes présentent des avantages, tels que zéro frottement pendant le fonctionnement et une faible consommation d'énergie, un vide élevé et un vide ultra-élevé facile à acquérir sans lubrification pour les pompes, capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme, une sécurité élevée et une longue durée de vie grâce à la protection de roulements avec billes en céramique de précision et fonction génératrice d'énergie en cas de coupure soudaine de l'alimentation. Il a des avantages comme exempt de frottement, de pollution et d'entretien et avec de faibles vibrations, et peut être installé dans n'importe quelle orientation.

Applications:

Extraction des gaz corrosifs existant dans la gravure, le CVD, le PVD et l'implantation ionique et des gaz facilement coagulés à température normale dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques, en particulier pour.

Caractéristiques:

Modèle CXF-250/2301
Vitesse de la pompe (l/s, air) 2200
Ratio de compression >1×107
Vide ultime (Pa) 2×10-7
Bride d'admission DN250 ISO F
DN250 CF
Bride de sortie KF 40
Vitesse de rotation (tr/min) 30000
Temps de démarrage (min) 8
VIB (mm) <0,05
Pompe primaire (L/s) 15
Montage ou orientation Tout
Méthode de refroidissement Eau
Poids (kg) (avec contrôleur) 58

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