Pompe à lévitation magnétique, CXF-200/1401E, Refroidissement par eau, Embarqué

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l'arbre est supporté en vertu de la force magnétique.
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, du placage industriel et des instruments scientifiques.

Les technologies:

• Technologie de contrôle pour le roulement magnétique : L'électromagnétique adopté est un 5 axes à lévitation magnétique. Cette conception peut avoir une réponse dynamique et un ajustement rapide au moyen d'une technologie de contrôle de suspension magnétique en circuit fermé active dynamique basée sur une théorie de contrôle internationale avancée, afin de garantir des avantages aussi importants de l'arbre à grande vitesse qu'un fonctionnement stable et fiable en lévitation.
• Technologie de contrôle d'entraînement de moteur : Un moteur à courant continu à haute efficacité et un système de servocommande sont appliqués aux pompes en série à lévitation magnétique, afin d'avoir une énergie maximale du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, réalisant ainsi un démarrage stable, un fonctionnement fiable et une régulation automatique fonction de l'énergie dynamique.
• Technologie de rotor composite en fibre de carbone : Les turbo-rotors des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont fabriqués en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. En comparaison avec tous les rotors en alliage d'aluminium, les turbo-rotors se caractérisent par une grande réduction de poids et une grande amélioration de la résistance, de sorte que les objectifs de vitesse de rotation élevée, de haute performance et de haute fiabilité sont atteints.
• Technologie résistante à la corrosion : Les surfaces des pièces dans les chambres des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont traitées avec un procédé spécial, de sorte que les surfaces puissent résister longtemps à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que N2 sont entièrement remplis dans l'arbre des pompes pour protéger les parties à faible vide dans les pompes, de sorte que la fonction d'évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes est réalisée.
• Système de contrôle de la température de chauffage : Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont équipées d'un chauffage électrique et d'un régulateur de température, de sorte que l'eau de refroidissement, le chauffage à air osseux, le chauffage électrique et la chaleur transportée par les gaz protecteurs peuvent être surveillés et contrôlés pendant le fonctionnement, la température dans les pompes peut être maintenue à une certaine valeur à long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences pour un processus spécial tel que la gravure peuvent être satisfaites.

Les avantages:

1. Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie

2. Facile à acquérir un vide poussé et un vide ultra poussé vraiment propres sans lubrification pour les pompes

3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme

4. Haute sécurité et longue durée de vie grâce à la protection des roulements avec des billes en céramique de précision

5. fonction de génération de puissance en cas de mise hors tension soudaine

Caractéristiques:

Applications:

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de série sont principalement appliquées aux domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques, en particulier à l'extraction de gaz corrosifs existant dans la gravure, le CVD, le PVD et l'implantation ionique et les gaz facilement coagulés à température normale.