Pompe turbomoléculaire dans les oscillateurs à cristal

L'oscillateur à cristal est un composant d'horloge couramment utilisé dans les circuits, son rôle principal est de fournir la fréquence de référence aux cartes graphiques, cartes réseau, carte mère et autres composants, largement utilisés dans les appareils d'information, les terminaux mobiles, les vêtements intelligents, l'Internet des objets et d'autres domaines. Le fonctionnement normal des circuits électroniques dépend du "signal d'horloge" régulier et stable, dans des conditions de fonctionnement normales, la précision absolue de la fréquence du cristal ordinaire peut atteindre 50 par million.
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Le principal matériau fonctionnel du quartz est le cristal, un cristal conique hexagonal avec une composition chimique de dioxyde de silicium (SiO2).
Le quartz est la matière première des résonateurs en raison de ses effets piézoélectriques positifs (énergie mécanique → électricité), inverse (électrique → énergie mécanique). Si une pression est appliquée le long des arbres ou des arbres mécaniques des plaquettes de quartz pour déformer les plaquettes, les deux surfaces perpendiculaires à ces axes génèrent une charge électrique, un phénomène connu sous le nom d'effet piézoélectrique positif. Si un champ électrique est appliqué sur les deux surfaces d'un cristal de quartz, la plaquette s'étend ou se comprime en direction de l'arbre et de l'axe mécanique, un phénomène connu sous le nom d'effet de contre-pression. Sur la base de cette caractéristique, lorsque le cristal de quartz est placé dans un champ électrique alternatif, le volume du cristal est périodiquement comprimé ou étiré, formant la vibration mécanique du cristal. Lorsque la fréquence du champ d'alternance est égale à la fréquence de résonance mécanique inhérente de la plaquette, l'amplitude de vibration mécanique de la plaquette est la plus grande, entraînant une résonance.
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Dans la production, les quatre processus de placage d'argent, de réglage, de collage et de test seront complétés sous vide comme ci-dessous.
Machine de placage d'argent
Dans le processus de fabrication d'éléments en cristal de quartz, un placage d'argent double face est nécessaire sur le substrat déjà découpé pour former une électrode double face. Au cours des dernières années, vide poussé par les machines à argent généré par les pompes à diffusion. En raison des exigences de qualité et d'efficacité énergétique, les pompes turbomoléculaires sont progressivement utilisées pour remplacer les pompes à diffusion dans l'industrie.
Mécanique d'accord
La méthode de gravure ionique est adoptée pour ajuster l'épaisseur de l'électrode de surface de la plaquette, de sorte que la fréquence du résonateur à cristal atteigne la fréquence d'oscillation cible. L'équipement équipé d'un double bateau convoyeur est disponible pour 1280 éléments d'oscillation de cristal, de la fonction de surveillance en temps réel de la fréquence d'oscillation du cristal, peut gérer 64 éléments de vibration du cristal en même temps. La chambre à vide de la machine de réglage fin est divisée en la chambre de préparation et la chambre de réglage fin. Lorsque l'équipement est allumé, le degré de vide de la chambre de préparation sera réduit de la pression atmosphérique à des dizaines de Pa, le degré de vide de la chambre de réglage fin sera finalement réduit à 10-3 à 10-4 Pa. Généralement, Des pompes moléculaires sont utilisées pour générer le vide poussé dans la chambre de réglage fin .
Machine de soudage
Le processus de soudage consiste à sceller le couvercle supérieur avec la base pour s'assurer que le taux de vieillissement du produit répond aux exigences. Dans lequel le cristal passif peut être directement rempli d'azote gazeux pour sceller, tandis que le cristal actif doit être ajouté à une puce de vibration avant le scellement. Dans la partie processus de recuit sous vide de la machine de scellage, un vide poussé est obtenu en utilisant une pompe moléculaire.
Ces dernières années, avec le développement rapide d'applications en aval telles que la 5G, l'électronique automobile et les terminaux mobiles, l'industrie du cristal a ouvert de nouvelles opportunités. En tant qu'expert en solutions pour l'industrie du vide, KYKY possède une vaste expérience dans le domaine des oscillateurs à cristal, a fourni une gamme complète de produits de vide et de solutions personnalisées. À l'avenir, KYKY continuera à creuser profondément dans les segments de l'industrie, adhérant à fournir aux clients des produits et services de meilleure qualité.
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Heure de publication : 14 mai-2021