Il s'agit de la version de mise à niveau de l'EM8000, avec une accélération améliorée du tube E-Beam, un mode de vide variable, disponible pour observer un échantillon non conducteur à basse tension sans pulvérisation, un système d'exploitation simple, pratique et convivial, un plan de remodelage à plusieurs extensions. C'est également le premier FEG SEM qui a une résolution de 1 nm (30 kV).
Avantages :
1, canon à électrons Schittky, haute luminosité, bonne monochromaticité, petit spot de faisceau, longue durée de vie.
2, avec accélération du tube à faisceau électronique, décélération de l'étape en option
3, courant de faisceau stable, propagation à faible énergie
4, échantillon non conducteur à observer sans pulvérisation en basse tension
5, interface d'opération facile, pratique et conviviale
6, énorme étape motorisée à 5 axes
Caractéristiques:
Configuration | |
Résolution | 1 nm@30kV(SE) |
3nm@1Kv(SE) | |
2.5nm@30kV(ESB) | |
Grossissement | 15x-800.000x |
Tension d'accélération | 0-30kV continu et réglable |
Pistolet à électrons | Canon à émission de champ Schottky |
Émetteur cathodique | Monocristal de tungstène |
Étage automatique eucentrique à cinq axes | X : 0~150 mm |
Y : 0~150 mm | |
Z : 0~60 mm | |
R : 360° | |
T:-5°~75° | |
Spécimen maximum | 320mm |
L*B*H | 342 mm * 324 mm * 320 mm (taille de la chambre à l'intérieur) |