Avantages :
Cette série de pompes offre de bonnes performances dans des environnements difficiles (température élevée, poussière, etc.), des performances stables et une longue durée de vie, ainsi qu'un entretien simple et un fonctionnement pratique.
Applications:
Les principales applications sont la détection de fuites industrielles, le PVD, le CVD, l'implantation ionique, la fabrication de composants électroniques sous vide, le verre à faible émissivité, le verre ITO, le revêtement optique, les cellules solaires, le soudage par faisceau d'électrons, le four sous vide et d'autres industries
Caractéristiques:
Bride (dans) | DN400 ISO-K | Gaz partout (sccm) | N2:5500 |
Bride(Out KF | DN100 | He:4000 | |
Vitesse de pompage (L/s) | N2:3500 | H2:3200 | |
Il:2650 | Ar:2100 | ||
H2:1280 | Vitesse de rotation tr/min) | 13500 | |
3200 Ar | Temps de démarrage(min) | ≤18 | |
Ratio de compression | N2:dix8 | Type de refroidissement, norme | Eau |
Il:103 | Consommation d'eau de refroidissement ( L/min) | 1 | |
H2:dix2 | Température de l'eau de refroidissement(℃) | 25 | |
Ar:108 | Connexion d'alimentation:Tension V AC) | DC24/AC220 | |
Pression ultime (Pa) | 6×10-6 | Consommation d'énergie max. ((W) | 1100 |
Max. Pression de pré-vide continue (Pa) | 100 | Modèle de contrôleur | FD-III |
Max. Pression de pré-vide | N2300 | Poids (kg) | 130 |