ZDF-62B5
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Vacuomètre composé, ZDF-62B5, 10E5 à 10E-7 Pa, 6 boucles, Rs485
Le manomètre à vide composé du modèle ZDF-62B5 est composé de 2 ensembles d'unités de mesure de vide faible et 1 ensemble d'unités de mesure de vide élevé. Une unité de jauge de résistance (RG 2) est utilisée pour réaliser la mesure (1,0 × 10E5Pa～1.0 × 10E-7Pa) indépendamment, l'unité de jauge de résistance (RG1) combinée à la jauge d'ionisation, en tant qu'unité composée, permet d'obtenir le contrôle et la mesure continus (1 × 10E5～1 × 10E-7Pa).
